ỨNG DỤNG CHÂN KHÔNG KHÔNG DẦU TRONG NGÀNH CÔNG NGHIỆP BÁN DẪN

Công nghệ bán dẫn là nền tảng của ngành công nghiệp điện tử hiện đại và ứng dụng của nó thâm nhập vào phần cốt lõi của hầu hết các sản phẩm điện tử. Từ máy tính, điện thoại di động, thiết bị điện đến các sản phẩm thông tin, mạch tích hợp (IC) có mặt khắp nơi và đóng vai trò điều khiển. Sự phát triển nhanh chóng của công nghệ bán dẫn đã thúc đẩy đáng kể việc cải thiện hiệu suất máy tính, giúp khả năng xử lý và lưu trữ dữ liệu ngày càng mạnh mẽ 

Chất bán dẫn

       Quy trình sản xuất: 

Quá trình xử lý các sản phẩm bán dẫn chủ yếu bao gồm thử nghiệm chế tạo wafer (front-end) và đóng gói (back-end), và với sự thâm nhập của công nghệ đóng gói tiên tiến, có một liên kết xử lý giữa sản xuất wafer và đóng gói, được gọi là trung cấp.
Hãy xem xét các quy trình chế tạo wafer phức tạp (front-end) và đóng gói truyền thống (back-end) làm ví dụ: dây chuyền sản xuất wafer có thể được chia thành 7 khu vực sản xuất độc lập: Quy trình nhiệt, Photo-lithography, Etch, Cấy ghép ion, Lắng đọng điện môi, Đánh bóng (CMP), Kim loại hóa. Quy trình kiểm tra bao bì truyền thống (back-end) có thể được chia thành 8 bước chính: làm mỏng mặt sau, thái hạt lựu wafer, gắn, liên kết dây, đúc, mạ điện, cắt / đúc sườn và thử nghiệm cuối cùng.

Rất nhiều năng lượng khí động học được sử dụng trong quá trình sản xuất, và bởi vì quá trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác và độ sạch cực cao, bất kỳ tạp chất nhỏ nào trong khí nén, bao gồm bụi và dầu, đều có thể ảnh hưởng đến chất lượng của sản phẩm.

Khách hàng của dự án này là XX Semiconductor (Hangzhou) Co., Ltd., là nhà cung cấp chất bán dẫn công suất mới tại Trung Quốc, chủ yếu tham gia vào nghiên cứu và phát triển và bán các mô-đun điện và thiết bị điện. Công ty đã đầu tư xây dựng một nhà máy mới tại Hàng Châu, có diện tích khoảng 15 mẫu Anh, với tổng diện tích xây dựng khoảng 10.000 mét vuông, và có kế hoạch xây dựng 10 dây chuyền sản xuất và lắp ráp bao bì mô-đun thông minh. Nó sẽ sản xuất 60.000 chip, mô-đun và thiết bị IGBT và SiC cấp hàng không vũ trụ và ô tô cao cấp mỗi năm.

Sau khi liên tục tối ưu hóa sơ đồ khí động học trong giai đoạn đầu, khách hàng cuối cùng đã sử dụng hai bộ máy trục vít biến tần không dầu khô Jaguar ZS-75. Máy trục vít không dầu khô Jaguar không cần bất kỳ môi trường bôi trơn nào để tham gia vào quá trình nén, hình dạng và cấu trúc bên trong độc đáo, vòng bi trước và sau sử dụng con dấu mê cung + con dấu vòng carbon + dạng niêm phong ba cấp phớt khí, để khoang nén và dầu bôi trơn được cách ly hoàn toàn, và không có dầu bôi trơn tham gia vào quá trình nén khí, đảm bảo rằng khí nén là 100% tinh khiết và không có dầu!